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(jī)

源于傳承 精芯智造

向下滑動(dòng)

國(guó)產(chǎn)劃片機(jī)的三種晶圓切割方式

國(guó)產(chǎn)劃片機(jī) 2022-08-30

國(guó)人知道芯片是怎么生產(chǎn)的嗎?第一,通過(guò)提純石英砂,可以得到冶金級(jí)的硅,多晶硅可以再加工成圓片。然后芯片代工廠出來(lái),把芯片電路刻在晶圓上,然后進(jìn)入第三步封裝測(cè)試。國(guó)產(chǎn)劃片機(jī)的種類主要分為三種晶圓切割方式:全自動(dòng)劃片、半自動(dòng)劃片(包含自動(dòng)識(shí)別、 手動(dòng)識(shí)別)、手動(dòng)劃片。


國(guó)產(chǎn)全自動(dòng)劃片:是指在完成加工物模板教學(xué)的前提下,設(shè)備將對(duì)工作臺(tái)上的加工物自動(dòng)上料,自動(dòng)識(shí)別,自動(dòng)清洗,依據(jù)切割參數(shù)的設(shè)定,沿多個(gè)切割向連續(xù)地進(jìn)行切割。


國(guó)產(chǎn)半自動(dòng)劃片:對(duì)工作臺(tái)上的加工物(確定切割位置)后,依據(jù)切割參數(shù)的設(shè)定,可進(jìn)行自動(dòng)識(shí)別或手動(dòng)識(shí)別,沿多個(gè)切割向連續(xù)地進(jìn)行切割。


國(guó)產(chǎn)手動(dòng)劃片:選擇一個(gè)切割向,對(duì)工作臺(tái)上的加工物手動(dòng)進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)后,僅沿所選擇的方向進(jìn)行切割。半自動(dòng)切割開(kāi)始前,可指定切割方向(向前或者向 后),還可以指定切割條數(shù)。


首先是全自動(dòng)劃片:在國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體軟件界面點(diǎn)擊,進(jìn)入界面全自動(dòng)劃片。


國(guó)產(chǎn)劃片全自動(dòng)切割中部區(qū)域顯示信息通常如下:


切割信息:切割使用的刀片、工件、切割設(shè)定參數(shù)等信息。


底部功能區(qū)域按鈕說(shuō)明:


圖形對(duì)準(zhǔn):可進(jìn)入對(duì)準(zhǔn)界面,驗(yàn)證自動(dòng)識(shí)別功能。


工件真空:開(kāi)啟或關(guān)閉工件真空。


工件設(shè)定:如需更改工件數(shù)據(jù),可通過(guò)底部<工件設(shè)定>按鈕進(jìn)行操作。


預(yù)切割:切割前,可開(kāi)啟或關(guān)閉預(yù)切割功能。


繼續(xù)切割:點(diǎn)擊此按鈕,完成上次未完成的切割操作。


右側(cè)功能區(qū)域按鈕說(shuō)明:


開(kāi)始執(zhí)行:執(zhí)行自動(dòng)識(shí)別操作并沿多個(gè)方向進(jìn)行切割(需要在功能設(shè)置界面中,開(kāi)啟自動(dòng)識(shí)別并切割功能)。


其次是半自動(dòng)劃片:?jiǎn)螕艚缑纥c(diǎn)擊半自動(dòng)劃片后,再點(diǎn)擊自動(dòng)識(shí)別按鈕,進(jìn)入界面自動(dòng)劃片:


自動(dòng)識(shí)別:選擇工件后自動(dòng)識(shí)別對(duì)準(zhǔn)(在執(zhí)行自動(dòng)識(shí)別前,需要事先進(jìn)行目標(biāo)識(shí)別制作)。


手動(dòng)識(shí)別:此處指單向?qū)?zhǔn),在指定的切割方向上,通過(guò)觀察圖像的位置,以手動(dòng)方式確定切割位置。


點(diǎn)擊高倍和低倍相互切換。


畫面可點(diǎn)擊移動(dòng)狀態(tài)。


畫面鎖住狀態(tài)。


顯示紫色實(shí)線狀態(tài)和通過(guò)可調(diào)紫色實(shí)線基準(zhǔn)線的寬度。


顯示綠色虛線狀態(tài),和通過(guò)可調(diào)綠色虛線基準(zhǔn)線的寬度。

國(guó)產(chǎn)劃片機(jī)的三種晶圓切割方式

最后是手動(dòng)劃片:界面點(diǎn)擊半自動(dòng)劃片后,點(diǎn)擊手動(dòng)劃片按鈕后,進(jìn)入界面手動(dòng)劃片:


劃片刀數(shù):輸入切割的總刀數(shù),默認(rèn)為0,則按最大刀數(shù)切割。


向后劃片:點(diǎn)選此按鈕后,手動(dòng)切割方向?yàn)閺那跋蚝笄懈睢?/p>


向前劃片:點(diǎn)選此按鈕后,手動(dòng)切割方向?yàn)閺暮笙蚯扒懈睢?/p>


T軸調(diào)整:調(diào)整切割道與基準(zhǔn)線平行,先找到切割道一個(gè)目標(biāo),點(diǎn)擊T軸調(diào)整,X軸自動(dòng)移動(dòng)另外一端,找到同一條切割道的目標(biāo),再點(diǎn)擊T軸調(diào)整,此時(shí)切割道與基準(zhǔn)線處于平行。


高度校正:在劃片參數(shù)里刀片高度的設(shè)定下,輸入數(shù)值可抬高或降低刀片高度。輸入修改的高度后,點(diǎn)擊F2刀片高度校正。


進(jìn)刀速度更新:當(dāng)前劃片過(guò)程輸入速度可修改速度大小,輸入修改的速度 后,點(diǎn)擊F7劃片速度更新。


偏移量:輸入偏移數(shù)值,數(shù)值為正往前偏移,數(shù)值為負(fù)往后偏移,0則不偏移。


經(jīng)過(guò)多年的努力,國(guó)產(chǎn)化終于突破了納米芯片晶圓切割設(shè)備的重重堅(jiān)冰,實(shí)現(xiàn)了歷史性的突破。對(duì)于我們國(guó)家來(lái)說(shuō),影響和好處是巨大的,對(duì)我國(guó)來(lái)說(shuō),意義是深遠(yuǎn)而巨大的。

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